Abstract
本實驗利用ICP系統沈積類鑽石薄膜，以C2H2與H2混合氣體選擇適當的沈積參數沈積高透光性的類鑽石薄膜。探討不同沈積時間及壓力下，對所沈積出的類鑽石薄膜其薄膜厚度、內部鍵結情況以及透光性的影響。使用掃描式電子顯微鏡觀察薄膜的表面與橫截面型態，利用原子力顯微鏡觀察類鑽膜表面粗糙度，使用拉曼光譜儀分析薄膜的鍵結情況以及使用spectrum-photometer檢測薄膜透光度。再以不同的基材上沈積類鑽石薄膜，比較其鍵結情況的差異。
- Title
- 利用ICP系統沈積類鑽石薄膜
- Translated title
- 利用ICP系統沈積類鑽石薄膜
- Creators
- 張世君 (Author)
- Contributors
- 寇崇善 (Advisor)
- Awarding Institution
- National Tsing Hua University; Masters
- Theses and Dissertations
- Masters, National Tsing Hua University
- Resource Type
- Thesis
- Date published
- 2004
- Language
- English