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利用LEED、XRD及EXAFS研究氮化鎵之德拜溫度
Thesis

利用LEED、XRD及EXAFS研究氮化鎵之德拜溫度

黃裕龍
Masters, 國立清華大學, 工程與系統科學系
1999

Abstract

德拜溫度 Debye temperature
與氮化鎵晶體間振動特性有密切的是德拜(Debye)溫度的探測,是研究固體表面的重方法之一。本實驗主要是利用不同的分析方法來量測氮化鎵的德拜溫度,並了解每種分析方法的特長及量測的極限。首先在超高真空系統(UHV)中,利用低能電子繞射儀(LEED)及歐傑電子能譜儀(AES),臨場觀察氮化鎵表面結構的變化,並量測氮化鎵的德拜溫度;亦利用X光來量測氮化鎵垂直向(out of plane)及水平向(in plane) 的德拜溫度;除此之外我們亦利用同步輻射光極化的特性,進行極化(polarized)X光吸收光譜的量測,以觀察氮化鎵樣品中鎵原子在樣品面水平方向(in plane)及垂直方向(out of plane)的原子結構與電子組態訊息,並得相關的參數,希望經由以上的實驗可以了解氮化鎵的表面及原子結構,並得到氮化鎵的德拜溫度。

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