Abstract
第一章 緒論 1-1 碳的簡介 1-2 碳鑽石膜及非晶質碳氫膜 1-3 研究動機第二章 實驗方法 2-1 實驗流程 2-2 實驗設備及RFCVD 基本原理 2-3 基材的選擇與清洗 2-4 沉積參數 2-5 抗酸性實驗第三章 量測分析與討論 3-1 Raman 量測與分析 3-2 TEM 分析 3-3 Thermal Annealing 對薄膜的影響 3-4 沉積參數對薄膜的影響 3-5 非晶質碳氫膜的螢光特性第四章 結論參考文獻表圖
- Title
- 利用RFCVD在矽基材上成長類鑽石膜和非晶質碳氫膜
- Translated title
- 利用RFCVD在矽基材上成長類鑽石膜和非晶質碳氫膜
- Creators
- 陳麒麟 (Author)
- Contributors
- 呂助增 (Advisor)
- Awarding Institution
- National Tsing Hua University; Masters
- Theses and Dissertations
- Masters, National Tsing Hua University
- Resource Type
- Thesis
- Language
- English