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利用SU-8聚合物製作的光波導方向耦合器之可調式微流體分光器模擬研究
Thesis

利用SU-8聚合物製作的光波導方向耦合器之可調式微流體分光器模擬研究

馮秉豪
Masters, 國立清華大學, 光電工程研究所
2013

Abstract

光波導 方向耦合器 可調式分光器 SU-8 微流體
本論文設計一可調式分光器,使用聚合物光波導方向耦合器,導光層為高分子聚合物SU-8、下披覆層為SiO2,並在方向耦合器上方建置一流體渠道作為上披覆層,藉由調變流體渠道中的流體折射率使得此分光器在輸入TE模態之1550nm波長光時可以得到任意的分光比例。 接著改變元件的結構設計一極化無關的可調式分光器,模擬結果雖然完全達到極化無關可調式分光器,但也已經降低了TE模態與TM模態分光功率的誤差,並且在流體折射率1.46時單一點可以達成極化無關,即TE模態與TM模態之耦合長度相同。

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