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利用X光吸收光譜與低能電子繞射研究Co/Pt 磁性多層膜之結構
Thesis

利用X光吸收光譜與低能電子繞射研究Co/Pt 磁性多層膜之結構

鄭培毓
Masters, 國立清華大學, 工程與系統科學系
1998

Abstract

EXAFS multilayer Co Pt LEED
本實驗主要針對Co/Pt磊晶多層膜中,改變Co膜層的厚度而固定Pt膜層的厚度。若Co膜層的結構若是hcp的結構時,磁晶異向能相當大,若是fcc的結構時,磁晶異向能為負值。而塑性形變引致磁異向性會因膜層與膜層即膜層與基板之間的結構而有所不同,由上可知介面間Co膜層的結構非常重要,所以需要對其結構方面加以比較討論之。 本實驗為利用X光吸收光譜(X-ray Absorption Spectroscopy;XAS)技術,利用同步輻射極化光之特性,進行極化(polarized)X光吸收光譜的量測,以觀察Co金屬在Co/Pt磁性多層膜中,Co層之水平方向(in plane)與垂直方向(out of plane)的原子結構與電子組態訊息,並試圖利用低能電子繞射與歐傑能譜儀,使用離子槍來剝除Co/Pt磊晶多層膜表面原子層,觀察Co/Pt磊晶多層膜表面結構的變化,希望經由以上實驗可以瞭解Co薄膜層在Co/Pt磊晶多層膜中其結構對磁性的影響。藉由此一實驗能得到Co金屬在Co/Pt磁性多層膜中的結構訊息。

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