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利用X光小角度散射研究在空氣與水界面形成規則奈米孔隙結構之二氧化矽薄膜
Thesis

利用X光小角度散射研究在空氣與水界面形成規則奈米孔隙結構之二氧化矽薄膜

謝昊倫
Masters, National Tsing Hua University
2002

Abstract

中孔洞二氧化矽薄膜X光小角度散射 MCM-41DNASAXSSEM
本論文主要是用模版法來生成中孔洞二氧化矽結構。論文分為兩部分:第一部份是在酸性溶液下以界面活性劑(CTAB)當模版與矽酸鹽(TEOS)結合,藉由改變CTAB與TEOS的比例,利用GISAXS與SEM來研究在氣液界面上生成M41S薄膜的結構與表面聚集行為。實驗發現TEOS與CTAB的比值在0.25?4之間時,所生成的薄膜結構為Hexagonal結構,孔道方向平行於膜面,孔與孔的間距為3.5?4.6 nm。TEOS與CTAB的比值為5?8之間時,薄膜結構為Hexagonal 與Cubic結構的混合體。其中TEOS的的濃度越高時,孔洞間的孔壁反而會越薄。當TEOS與CTAB的比值為16時,薄膜的結構會變成Cubic結構。由SEM觀察薄膜表面發現,薄膜在水面的粗糙度會大於在空氣面的粗糙度,且隨著TEOS的濃度增加,薄膜表面的粗糙度也會跟著增加。第二部分是以DNA當模版與矽酸鹽(TMOS)結合生成中孔洞二氧化矽管狀物。實驗發現在酸性溶液下,二氧化矽會完整包覆DNA,樣品燒結後會形成直徑2.8 nm的管狀物,若在中性溶液下反應,二氧化矽並不會完整的包覆住DNA,使得樣品在燒結後,會使結構崩塌。

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