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利用兆赫波及紅外線來量測--鍍類鑽石薄膜對矽晶圓的影響
Thesis

利用兆赫波及紅外線來量測--鍍類鑽石薄膜對矽晶圓的影響

黃鍔品
Masters, National Tsing Hua University
2002

Abstract

兆赫波紅外線類鑽石薄膜矽晶圓 TerahertzTHzIRdiamondfilms
本實驗是研究紅外波段電磁波對類鑽石薄膜的穿透。首先,我們量測出在THz電磁波段下類鑽石薄膜有非常好的穿透性;接著,在FTIR的波段(200cm-1~4000cm-1)下也有相同的情形。我們使用鐵弗龍透鏡將THz電磁聚焦,聚焦點大小約1.4mm。將樣品放置在焦點處,並照射另一束可見光(氬離子雷射)。實驗結果顯示,矽晶圓直接被氬離子雷射照射時,會產生載子使得THz電磁輻射的穿透變小,且THz穿透訊號與氬離子雷射功率呈反比關係;而鍍上一層類鑽石薄膜的矽晶圓,其THz電磁輻射的穿透,不會因為照射氬離子雷射而改變。其原因可能為:1.類鑽石薄膜將氬離子雷射的能量吸收,使得氬離子雷射透過薄膜打到矽晶圓的能量很少,以至於矽晶圓被激發的電子電洞對也相對較少,因此無法影響THz。2.鍍上類鑽石薄膜之後矽晶圓的表面狀態改變,而能帶也隨之改變,使得矽晶圓表面無法產生自由的電子電洞對,也因此無法影響THz電磁輻射。

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