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利用印刷塗佈蝕刻膠方式製作埋藏式電極之太陽能電池研究
Thesis

利用印刷塗佈蝕刻膠方式製作埋藏式電極之太陽能電池研究

呂哲俊
Masters, 國立清華大學, 光電工程研究所
2010

Abstract

埋藏式電極太陽能電池
在單晶太陽能電池中有各種改善效率的方式,其中最受矚目的方法其中之一為埋藏式電極外加選擇性射極。要形成埋藏式電極需要在晶圓上蝕刻出與電極形狀相同的溝槽,定義這個形狀的方法有許多,例如:利用黃光微影的方式來定義出圖形並利用濕式蝕刻或乾式蝕刻的方式來蝕刻出溝槽、亦或者利用雷射或鋸刀的方式來雕出電極形狀的溝槽,然而黃光微影的方式需要耗掉較多的時間及成本,雷射方式刻出來的溝槽會在晶圓上造成許多缺陷,而我們利用一種較低成本的方式來定義溝槽圖形,製作出整個結構,成功達到效率上的進步。

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