Abstract
本實驗研究目的，主要在於利用國家同步輻射研究中心(National Synchrotron Radiation Research Center，NSRRC)之光束線BL20B建立X光螢光光譜儀(X-Ray Fluorescence Spectrometer，XRF)，並利用此技術作為奈米薄膜磁性材料之元素的定性與定量分析。同步輻射光源為線性極化光，同時具有高強度、高準直性、低發散角，以及能量可調範圍廣等優點，若將同步輻射光源應用在XRF實驗上，相較於一般實驗室使用之X光管所產生之光源，不僅可縮短量測時間，提昇實驗效率，且可提高螢光訊號強度更能降低彈性散射背景值的影響。元素定性與定量的分析上，我們以不同比例之IrxMn100-x磁性薄膜材料來進行研究，此薄膜是由成大物理所黃榮俊教授研究室所提供，以MBE (Molecular Beam Epitaxy)方式成長，機制為Pt(10 A)/IrxMn100-x(120 A)/Py(80 A)/Mo(100 A)/Sapphire，其中Py (permalloy)是Ni80Fe20合金。我們不僅希望藉由此X光螢光光譜量測到薄膜中所含的各種元素，更希望從光譜中代表元素的峰值，求出元素的含量或相對比例。此外，我們將探討如何改進儀器的架設，才能降低實驗的背景值以及提升最小偵檢極限(Minimum Detection Limit, MDL)，例如極化光之極化方向對散射光強度的影響，或者如何選取偵檢器放置的位置等，皆為本研究之重點。