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利用含氫非晶矽製作異質結構之太陽能電池
Thesis

利用含氫非晶矽製作異質結構之太陽能電池

曹天昱
Masters, 國立清華大學, 光電工程研究所
2010

Abstract

異質結構
比較酸性和鹼性的兩種溶液做切割損傷去除(saw damage removal)後,之後做表面金字塔狀的粗糙化,研究對反射率和太陽電池轉換效率的影響。用PECVD沉積氫化非晶矽(a-Si:H)薄膜,並使用高溫爐管進行磷擴散形成異質結構太陽能電池。

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