Abstract
在現行的電子顯微鏡中，我們所觀察到的影像是記錄在影像平面上，只記錄下振幅強度，而失去了相位的訊息。 我們的目的就是利用微機電技術製造一個微電磁透鏡，使透鏡內部產生均勻的積分電位使電子束均勻轉換π/2的相位，因而可以得到相位的訊息。 我們利用電磁透鏡來取代薄膜式相位板，使用電磁透鏡產生均勻積分電位來改變電子束之相位，我們將相位板製作成環狀，使穿透電子穿過環的中央因而改變相位，而繞射電子從環的周圍通過而維持原來的相位，因此不僅改善了薄膜相位板的問題外，更因為整個元件架構都是建立在矽晶圓上，更有適合大量生產及良率容易掌控的商業化價值。由於我們是將相位板與光圈座結合，因此我們很輕易的可以藉由改變光圈來決定要不要加入相位板，可以即時的得到相位影像，而不需要知道艱深的原理及繁複的計算。 藉由相位板元件截面的SEM照片，可以確認環狀五層結構堆疊情況與分別厚度，並利用EFM量測電磁透鏡相位板的靜電力梯度，與理論值相比較，而證實電磁透鏡相位板可以產生均勻的積分電位，使穿透電子束相位改變π/2。