Abstract
在本文中將提出一種簡易且較低成本的製作方式製作出三維的金屬微電極陣列，並將此電極陣列附載於軟性基板上，最後將此電極運用於量測神經訊號。過去要製作出具有傾斜角的針狀結構，大部分是利用ICP/RIE進行矽晶圓蝕刻，而在本文中利用實驗室提出的背後曝光技術，在SU-8光阻上製作出具有傾斜角的針狀結構，每一個陣列包含16根針狀結構，高度為150μm，並將導線與針狀結構結合在一起，成功的製作出SU-8模仁；另外在本文中利用PDMS翻模和電鑄技術，製作出金屬鎳模具，而金屬鎳模具可節省黃光微影所需花費的時間，不需再重複製作SU-8模仁，以方便重複利用節省時間。而製作出的微電極陣列將會覆載於軟性基板上，軟性基板的優勢在於可貼合待測物表面，減少因移動而對組織造成傷害。製作出的電極試片將會進行初步的實際量測，為了方便進行量測，在本文中將先與電路板做結合，而量測的對象是螯蝦腹部的逃跑神經(Lateral giant, LG)，這邊所進行的是體外量測；利用外加電極給予神經束一刺激訊號，再以金屬微電極紀錄LG上軸突的膜電位變化，利用此量測實驗來驗證此微電極的可行性。在本文中將詳細介紹金屬微電極的製作流程，以及在實驗中所遇到的問題和解決方式，並說明神經訊號量測結果。最後將提出未來可能可以改進的地方以及延展的方向。