Abstract
由於橢圓偏光儀（Ellipsometer）可以對薄膜的光學常數和厚度做非壞性的量測，且其具有簡單、能測量小面積的試片及能夠量測多層薄的優點，因此很早就利用來量測薄膜的光學常數及厚度。但因為目前的逆向求取的電腦程式只能解單一變數，對於多變數之解其可信度往往受到質疑，因此限制了橢圓偏光術的應用。本實騇中我們先利用正向求取討論於正確解附近，當入射角度、厚度、折射率、消散係數偏離正確解時，誤差Ｇ值的變化情形。我們知道可以藉著對入射角、厚度、折射率、消散係數的修正，使得Ｇ的最小值為零而求得正確解，接著我們利用逆向求取的方法試圖計算出薄膜厚度、光學常數的正確解。由於局部極小值的存在，除非我們能夠知道厚度、折射率、消散係數其中一參數之正確值，否則無法求得三個未知參數的正確解。但是我們由正向求取問題討論中知道可以藉由針對比較不同厚度（折射率、消散係數）的Ｇ最小值，求得真正的最小值。入射角度的偏差也可以用此種方法來修正，因此我們可以很準確地求得薄膜的厚度及光學常數。