Abstract
微透鏡陣列（Micro-lens array，MLA）結構是目前微結構製程技術中應用最為廣泛的實際產品之一，在生醫、光電、光資訊儲存、光纖通訊、數位顯示、發光二極體陣列以及積體光學等不同科技領域中扮演著重要關鍵元件角色。微透鏡陣列製作製程，隨著微細加工技術的發展，近年來已有許多不同類型的製程技術被陸續發表，因此在未來科技持續地發展下，微透鏡陣列結構的實際性應用則想必會相繼出現在更多元化的科技應用上。 本文主要是利用矽體型微加工（Silicon bulk micro machining）製作矽基微透鏡陣列母模，接著以電鑄（Electroforming）加工翻鑄出矽基微透鏡陣列母模之微透鏡陣列金屬鎳公模，最後是熱壓成型（Hot embossing）壓印出PMMA微透鏡陣列。然而，因為微透鏡具有改變光行進方向的特性，故本論文亦將設計製作的微透鏡陣列結構運用至背光模組導光板底面之非印刷式微結構，利用ASAP（Advanced system analysis program）光學軟體來加以初步輔助模擬、探討相關光學問題。 本論文實驗製作的微凹透鏡結構，其直徑大小約16mm~31mm之間不等，d/r的比值則約為0.48~0.72，並且能在同一基材上利用蝕刻時間或設計直徑大小而製作出具有不同d/r值的微透鏡陣列結構。且d/r=0.73、0.46與0.56的微透鏡結構相較於d/r=30/45的微結構下，其有助於導光板的出光量之均勻性。