Abstract
在微系統製程中SU-8是廣泛備研究使用的材料，但是他本身親水性約在80˚並不良好，在一些需要毛細力的應用上例如微全系統分析…等便受到了限制。為了達到SU-8光阻表面長效親水的目的，我們利用172-nm Excimer VUV這個儀器來進行表面處理，並且可以長時間的將SU-8親水角維持在很低的親水角，以照射時間300秒為例可以到達8˚以下。另一個現象是當經過172nm UV/臭氧處理過後之試片的表面在水沖洗過後後會有親水角上升的現象，判斷是因為表面產生低分子氧化物所造成，因為這生成物與基材表面黏著力較差所以會被水給帶走。內容也對VUV/Ozone的試片進行FT-IR與XPS檢測，並藉此推測出兩種表面如何產生水性官能基反應的機制。 另一個重點是製作SU-8封閉流道並且直接對流道內部進行親水化處理，找出對SU-8薄膜穿透力較佳且又能有效打斷表面鍵結的254nm波長紫外光，對封閉流道進行UV/Ozone的處理後，發現水在流道內的速度增加，與未處理的流道相比有顯著的效果。