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Thesis
利用鍺進行預非晶化佈植改善鰭式電晶體之接觸電阻與漏電流
陳慶育
Masters, 國立清華大學, 工程與系統科學系
2015
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Abstract
鰭式電晶體
接觸電阻
預非晶化離子佈植
FinFET
Contact Resistance
Pre-Amorphization Implant
因申請專利緣故,資料延後公開
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Title
利用鍺進行預非晶化佈植改善鰭式電晶體之接觸電阻與漏電流
Translated title
利用鍺進行預非晶化佈植改善鰭式電晶體之接觸電阻與漏電流
Creators
陳慶育
Contributors
巫勇賢 (Advisor)
Awarding Institution
國立清華大學, 工程與系統科學系; Masters
Theses and Dissertations
Masters, 國立清華大學, 工程與系統科學系
Language
Traditional Chinese
Resource Type
Thesis
Date published
2016
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