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利用鍺進行預非晶化佈植改善鰭式電晶體之接觸電阻與漏電流
Thesis

利用鍺進行預非晶化佈植改善鰭式電晶體之接觸電阻與漏電流

陳慶育
Masters, 國立清華大學, 工程與系統科學系
2015

Abstract

鰭式電晶體 接觸電阻 預非晶化離子佈植 FinFET Contact Resistance Pre-Amorphization Implant
因申請專利緣故,資料延後公開

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