Abstract
離子散射能譜利用離子碰撞固體表面, 以二體彈性碰撞模型, 分析散射離子能量, 而得到固體表面組成特性。本實驗改良儀器中離子源強度及聚焦能力, 并以400–800ev的氬離子探測金屬及其表面鍍膜的組成特性。
- Title
- 利用離子散射能譜儀器研究薄膜蒸鍍
- Translated title
- 利用離子散射能譜儀器研究薄膜蒸鍍
- Creators
- 王志和 (Author)
- Contributors
- 蘇青森 (Advisor)
- Awarding Institution
- National Tsing Hua University; Masters
- Theses and Dissertations
- Masters, National Tsing Hua University
- Resource Type
- Thesis
- Language
- English