Abstract
本實驗是利用原子核共振反應鋁-27+質子→鎂-24+α粒子來測量半導體GaAlAs中Al的含量與深度分佈。藉著改變入射質子的能量，使其與位於不同深度的鋁-27 起反應。反應產生的α粒子數目與以純鋁進行實驗時所得的α粒子數目與以純鋁進行實驗時所得的α粒子數目相比，使可決定該處鋁-27 之含量。本實驗使用一個8.6 um厚的△E 型表面勢疊偵測進行。利用逆符合線路將反應之α粒子數目與散射之質子數目比提高一位。實驗結果證明這是一個非破壞性的測量方法，能夠精確地測量各種物質中鋁的含量及其深度分佈。