Abstract
表面聲波除了早期在通訊及電子領域上的研究和應用的發展外，因其具有高度靈敏的特性，並且有尺寸、重量上的優勢，近年來漸漸被使用在生物感測領域的開發上。表面聲波在生物感測系統的應用上主要分為氣態系統以及液態系統的量測，由於液體比氣體有更多的影響參數的不確定性，因此在液態量測系統的建立上比起氣態量測系統有更多的變數需要考慮。由於液態系統有許多不可被取代的特點，例如在液體內即時作用的量測上。 因此為了追求生物感測上的準確性以及穩定性，並能作到即時量測的效果。在本文中，以122MHz的剪切水平表面聲波元件作為基礎，與回授放大電路結合構成高頻振盪電路。並且製作出能保持溫度、濕度與壓力穩定的量測環境來減低外在因素所造成的量測誤差。利用此系統來進行非即時與即時的液相量測，並做生物感測上的實際應用。為了穩定的擷取量測數據，以及方便後端的監控，將量測系統與計頻器和頻譜儀同步的連結，使用GBIP介面卡與電腦連結，並利用Lab VIEW程式進行儀控與訊號擷取和分析。 經本文之理論與實驗驗證，基材為36°XY-LiTaO3所製作出來的剪切水平表面聲波元件，中心頻率為123.15Mz，插入損耗約為-6.125dB。製作出來的高頻振盪器操作頻率為122.14MHz，基頻載波功率約為14.31 dBm。而利用本量測系統進行量測，可以偵測出奈米金顆粒-DNA共軛體在元件感測區上的即時質量吸附情況。