Abstract
摘要 本論文研究著重於探討一維金屬氧化物奈米結構物做為感測材料的性用特性，並藉由摻雜、表面功能化、加入金屬觸媒及合成奈米級複合材料等方式提升其材料特性。藉由四氟化碳（CF4）電漿處理後的氧化錫奈米線，氟原子可被成功地摻雜入奈米線表面，並因而提升奈米線的導電性、光子感測性與低溫的酒精氣體感測性 （詳見第三、四章）。於第五章中，本論文藉由原子層沉積技術將白金奈米金屬顆粒沉積於氧化錫奈米線表面，並探討白金奈米金屬顆粒在氧化錫奈米線上的成長方式，並大幅提升其氣體感測特性。此外，同樣利用此技術合成白金與氧化錫的奈米線?核結構，使其具備高導電性、高氣體敏感性、快速反應等特性，因而可作為氣體與光子的感測器應用（詳見第六章）。若利用原子層沉積技術將白金觸媒沉積於氧化鋅奈米線表面，將可大幅提升其光子感測特性（詳見第七章）。另外，藉由原子層沉積技術，於酸處理後的多壁奈米碳管表面成長無機氧化鋅晶粒，此奈米複合材料可應用於UV光的感測應用，如果原子層沉積的反應循環次數改變，將改變氧化鋅在奈米碳管的數量與覆蓋率，因而改變其感測特性（p、n型半導體轉變；詳見第八章）。最後，對於本研究論文給予一結論，並提出未來可行的研究規劃。