Abstract
批次控制是針對IC製程特殊的生產型態所發展出來之製程回饋控制工具。由於IC製程的投入變數可調整範圍通常很窄，因此傳統上皆假設製程之投入-產出模型為一靜態線性模型。然而，實際製程之投入-產出大多為動態系統，若以常用的Single EWMA控制器來調整生產製程，在採用合適折扣因子下雖可確保製程收斂，但將導致製程變異放大。針對此缺點，在一階動態系統下，本論文提出Quasi MMSE (Minimum Mean Square Error) 控制器，並探討此Quasi MMSE控制器的穩定性條件及如何決定此控制器之最適折扣因子。最後並探討此控制器與傳統Single EWMA控制器在執行效能上的優劣分析；文中發現模型中的短尾動態參數與斜率參數之比值小於0.5，且模型中的參數沒有嚴重高估的情況 (亦即相對估計誤差低於30%) 下，Quasi MMSE控制器的TMSE (Total Mean Square Error) 表現皆優於Single EWMA控制器。此外，由模擬結果可發現，當動態系統中的動態參數顯著大時，製程TMSE的改善幅度更加顯著。