化學氣相沉積法低溫成長多晶碳化矽

Thesis

化學氣相沉積法低溫成長多晶碳化矽

邱裕升

Masters, 國立清華大學, 材料科學工程學系

2017

Abstract

微波電漿輔助化學氣相蒸鍍

四甲基矽烷

碳化矽

矽基堆疊型太陽能電池

microwave plasma enhanced chemical vapor deposition

TMS

3C-SiC

Si-based tandem solar cell

XRD

XPS

Raman

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Details

Title: 化學氣相沉積法低溫成長多晶碳化矽
Translated title: 化學氣相沉積法低溫成長多晶碳化矽
Creators: 邱裕升
Contributors: 甘炯耀 (Advisor)
Awarding Institution: 國立清華大學, 材料科學工程學系; Masters
Theses and Dissertations: Masters, 國立清華大學, 材料科學工程學系
Language: Traditional Chinese
Resource Type: Thesis
Date published: 2018