Abstract
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- Title
- 十六奈米鰭式電晶體閘堆疊之沉積與退火製程影響研究
- Translated title
- 十六奈米鰭式電晶體閘堆疊之沉積與退火製程影響研究
- Creators
- 林志儒
- Contributors
- 張廖貴術 (Advisor)
- Awarding Institution
- 國立清華大學, 工程與系統科學系; Masters
- Theses and Dissertations
- Masters, 國立清華大學, 工程與系統科學系
- Language
- Traditional Chinese
- Resource Type
- Thesis
- Date published
- 2017