Abstract
在半導體產業中其設備所佔製造成本比例極高，目前多數業者著重於維持機台設備的高利用率，本研究提出設備投入效率(OIE)為另一影響設備效率因素，建立工廠中拋光機台各機台參數理想值與設備投入與產出，訂定整體績效標準；制訂OEE、OIE整體參數設備投入效率與產出效率，開發智慧型設備績效管理及診斷系統，藉由標準值診斷參數是否正常或是異常，此外對於異常時有關參數進行了解，針對特殊參數進行診斷分析、以excel-based的計算軟體VB介面，並做出診斷。提昇設備使用效率及建立產業設備投入績效標準。