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半導體晶圓前段製程的等候線網路模式之比較研究
Thesis

半導體晶圓前段製程的等候線網路模式之比較研究

吳大煒
Masters, 國立清華大學, 工業工程與工程管理學系
1996

Abstract

半導體 晶圓 線網路模式
半導體晶圓製造廠的製造流程極為複雜,使得晶圓在生產時極具不確定性。因此本篇論文希望能藉由等候線網路模式來準確預知各個產品及機台的績效衡量值。 等候線網路技術已經普遍應用於製造業及電腦網路的資料傳輸上,並能快速且準確的獲得預測值。我們將針對兩個專為半導體晶圓製造廠所發展出的等候線網路模式進行探討,雖然兩模式在實驗中都能很有效率的獲得極佳之績效衡量預測值,但其實驗環境分別是R&D的晶圓製造廠以及單一產品的情況下,均不符合一般晶圓裂造廠的生產過程。因此我們先將此兩模式做部分的修改,之後再用國內一般晶圓製造廠的多產品實際資料,輸入其等候線網路模式來進行驗證,比較其優劣。 驗證的結果說明了修改過後的等候線網路模式,不但適用於實際的晶圓製造廠,並且其預測準確度不會比原來的模式差。本研究中所提出的等候線網路模式,對於決策者來講將是一個快速且準確的預測分析工具。

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