Abstract
本文以國內某大型晶圓製造廠之自動化物料搬運系統(Automated Material Handling System)為研究對象，使用SIMPLE++物件導向模擬軟體，搭配UML為基礎之物件導向模式構建方法論，分別進行雙迴圈雙負載Interbay系統派車法則、系統負載分析及黃光區Intrabay系統規劃等議題的模擬分析 首先，本研究純粹探討派車法則對雙迴圈雙負載Interbay系統的影響。經分析結果發現，派車法則與晶舟搬運率及搬運車車數之間存在顯著的交互作用，並歸納出不同環境下最適合之派車法則。此外，更進一步利用反應曲面法(Response Surface Method)，在搬運績效極值化之前提下，探討最適派車法則在不同環境下之績效表現。確立最適派車法則之後，建構包含倉儲系統(stocker)之完整Interbay系統，透過模擬尋找出該系統最大搬運負荷量，並且分析出不同環境下，最合適之內外軌道搬運車車數配置。 另外，本研究應用系統模擬於12吋晶圓廠之黃光區機台配置規劃問題。藉由系統模擬之回饋(feedback)特性，規劃出一合理之黃光區機台與車數配置方案，以降低黃光區Intrabay搬運系統之負荷。並對OHT(Overhead Transpoter)式及AGV(Automated Guided Vehicle)式搬運設備進行比較，發現在此黃光區Intrabay系統中，OHT的搬運效率較AGV佳。