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半導體業作業環境中揮發性有機化合物氣相層析質譜儀分析方法建立
Thesis

半導體業作業環境中揮發性有機化合物氣相層析質譜儀分析方法建立

林敏男
Masters, National Tsing Hua University
1999

Abstract

揮發性有機化合物多重床採樣管熱脫附
本實驗為利用自動化連續採樣器進行24小時採樣,每小時採一次,採樣後以冷凍濃縮自動熱脫附儀配合氣相層析質譜儀,對作業環境中之9種揮發性有機化合物(VOCs)進行定性及定量分析。在採樣方法上,利用多重床採樣管,於常溫下採集樣品,多重床採樣管內填充0.2克Carbopack B、0.2克Carbopack C和0.2克Carbosieve SⅢ,以冷凍熱脫附方式進樣,探討方法的可行性及儀器之最佳條件。在採樣體積為1升,相對濕度80%的條件下,方法偵測極限為0.31ppb?0.89ppb,平均樣品回收率則介於91.52% ~ 100.19%之間。並將所建立之方法實際應用於園區半導體廠之現場量測,A廠量測結果以異丙醇之平均濃度182.3ppb為最高,丙酮之平均濃度117.9ppb次之,甲苯之平均濃度29.1ppb為最低。B廠量測結果以異丙醇之平均濃度405.9ppb為最高,丙酮之平均濃度204.8ppb次之,甲苯之平均濃度33.4ppb為最低。

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