Abstract
半導體製造良率是所有生產活動的最終指標，藉由製程即時監控與診斷能提高半導體生產的良率，目前國內半導體製程監控與診斷仍需要專家以人工來判斷，人為的判斷不但費時、易發生疏失，且許多經驗累積的知識無法傳承下來，在另一方面，半導體製程繁多複雜且變動性高，製程即時監控與診斷不易達成，目前雖然有許多關於製程監控與診斷的研究已提出，但這些研究都只侷限於某特定製程或方法，對目前半導體業的助益有限。因此本研究針對半導體製程繁多複雜且變動性高的特性，建立一適用於各種製程的即時監控與診斷專家系統，並可因應製程的變動動態地修改系統的知識庫。本系統根據半導體製程監控與診斷知識的特性發展一物件導向知識表達方法，再依此表達方法設計一知識擷取介面，讓使用者能在生產前，透過此介面將所有與製程相關的知識建入系統的知識庫中；在生產時，使用者決定生產製程後，系統從規格資料庫擷取控制參數規格當作監控之標準依據，並根據規格設定機台，然後透過現場資料的收集，系統能進行知識的推理與診斷，再依推理與診斷結果做適當的調整，以避免不良品的產生，提高生產的良率。