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半導體製造選擇派工機台之預測方法
Thesis

半導體製造選擇派工機台之預測方法

劉家豪
Masters, 國立清華大學, 化學工程學系
2007

Abstract

派工 半導體 機台
半導體製程是一個多種步驟以及擁有大量機台跟多樣化的產品的製程,在這樣的生產環境之下,產品、製程與機台的搭配影響生產效率至大,如何提升生產品質並且不會造成產品延遲交貨,以及如何提升生產產能(throughput)且能維持其生產品質,是我們目前面臨到的問題,因此安排製造排程以及現場派工是一個重要的議題。其中,在半導體製程中某兩道製程是半導體中相當重要的步驟,目前工廠欲得到決定這兩個站點的路徑優先順序之方法,以改善目前工廠現有利用經驗與直覺方法來安排機台,造成無法發揮其最大產能。我們將會由工廠所提供的數據來分析,並由這些數據來訂定出一套排程與派工的優先順序,藉此來改善目前工廠所面臨到的問題,我們將會在本文中探討這個方法。

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