反應式射頻磁控濺鍍法製備 AlCrSiTi 多元氮化物薄膜

Thesis

反應式射頻磁控濺鍍法製備 AlCrSiTi 多元氮化物薄膜

呂佩瑜

Masters, 國立清華大學, 材料科學工程學系

2017

Abstract

硬質薄膜

多元氮化物薄膜

切削測試

田口法

製程調控

hard coating

multi-element nitride film

cutting test

Taguchi Method

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Details

Title: 反應式射頻磁控濺鍍法製備 AlCrSiTi 多元氮化物薄膜
Translated title: 反應式射頻磁控濺鍍法製備 AlCrSiTi 多元氮化物薄膜
Creators: 呂佩瑜
Contributors: 林樹均 (Advisor)
Awarding Institution: 國立清華大學, 材料科學工程學系; Masters
Theses and Dissertations: Masters, 國立清華大學, 材料科學工程學系
Language: Traditional Chinese
Resource Type: Thesis
Date published: 2018