Abstract
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- Title
- 反應式直流磁控濺鍍法製備抗沾黏高熵氮化膜之研究
- Translated title
- 反應式直流磁控濺鍍法製備抗沾黏高熵氮化膜之研究
- Creators
- 陳姵希
- Contributors
- 葉均蔚 (Advisor)
- Awarding Institution
- 國立清華大學, 材料科學工程學系; Masters
- Theses and Dissertations
- Masters, 國立清華大學, 材料科學工程學系
- Language
- Traditional Chinese
- Resource Type
- Thesis
- Date published
- 2017