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可植入式原子沉積氧化鋁基底複合防水薄膜
Thesis

可植入式原子沉積氧化鋁基底複合防水薄膜

陳昱如
Masters, 國立清華大學, 奈米工程與微系統研究所
2014

Abstract

原子層沉積氧化鋁薄膜 atomic layer deposited alumina oxide
因申請專利緣故,資料延後公開

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