Abstract
This research benchmarked nine semiconductor manufacturing plants in Taiwan. Performance and determinant indices at fab level, photolithographic module and machine levels are analyzed. Contributions of the work include: 1) direct benchmarking of major indices, 2) identification of four additional fab improvement drivers over the previous work by Sheu and Wu, 3) regression model for two performance indices, 4) analysis of input/output technical efficiencies for the participating fabs at fab level, module level, and photolithographic machine level, 5) benefit/cost analysis for various models of steppers/scanners, 6) statistics of machine failure causes, and 7) enhancement of performance index modelABSTRACT 3目錄圖目錄 4圖目錄 41.1 研究背景與動機 41.2研究目的 41.3相關研究計劃 4第二章、文獻探討 42.1 設備管理實務 42.1.1 標竿管理 42.1.2 黃光區設備管理實務探討 42.2 OVERALL EQUIPMENT EFFICIENCY(OEE)在設備管理上的應用 42.2.1 Resist Processing Equipment的介紹 42.2.2 Overall Equipment Effectiveness (OEE) 42.2.3 Rate of Quality 42.2.4 Availability 42.2.5 Performance Efficiency 42.2.6 Overhead reduction 42.2.7 結論 42.3 COST OF OWNERSHIP(COO) REVIEW 42.4 DUNCAN多重全距檢定手法 4第三章、研究方法 43.1計劃重點 43.2研究對象與範圍 43.3 問卷設計原則 43.4 資料保密 43.5 研究手法及工具 43.5.1 研究手法 43.5.2 各分析手法所用的工具 43.5 研究流程 4第四章 重要評比指標說明 44.1重要及評比指標說明 44.1.1全廠性績效指標 44.1.2黃光區績效指標 44.1.3 黃光機台關鍵績效指標 44.2 關鍵績效指標解釋表 4第五章 設備管理指標模型分析結果 45.1 指標標竿(DIRECT BENCHMARKING) 45.1.1 全廠性觀察—含前兩年資料 45.1.2 黃光區指標比較 45.1.3機台關鍵績效指標表現評比 45.2 驅動因子分析 45.2.1 全廠性內部驅動因子分析結果 45.2.2 黃光區驅動因子分析結果 45.2.3 全廠及黃光驅動因子分析結果 45.2.4 去年及今年驅動因子分析綜合比較及建議 45.3 驅動因子回歸分析 45.3.1 Fab Yield v.s. Target Hit Rate by Order 45.3.2 Cluster Cycle Time v.s. First Pass Yield 45.4 投入產出相對效率分析 45.4.1投入產出的效率分析 45.4.2黃光機台投入產出效率分析 45.5 黃光區機台成本效益分析 45.5.1 不同廠牌以及機型的Performance比較 45.5.2 不同廠牌機台間各績效指標的差異性分析 45.6 黃光機台故障原因分析 4第六章 結論與建議 46.1 綜合結論 46.2 改善建議 46.3 後續研究方向 4附錄A、2000年設備管理問卷 4附錄B、設備管理指標總表 4參考文獻 4