Abstract
半導體製造成本每年維持約25%的下降，而造成成本下降的四個因素中，晶圓尺寸的 增加、良率的提高、產品線寬的縮小時，已經漸漸的不如設備效率的增加來得重要，使得 設備管理的重要性與日俱增。 本研究在今年度完成了透過問卷調查以及數次到廠參觀、訪談等方法初步了解台灣晶 圓製造廠之設備管理實務，並參考業界實務經驗建立設備管理模型，將設備管理實務分成 八個向度，並定義設備管理指標與製造效能指標共212項。我們利用設備管理模型來評比 台灣各晶圓廠之設備管理成效，並將評比結果回饋給各廠作為日常設備管理之參考。今年 度共有八個晶圓廠參與研究，包含不同生產形態、生產技術的廠都有，利用問卷蒐集到的 資料我們更進一步分析設備管理指標與製造效能指標間的關係，找出了許多可能之相關性 ，可提供晶圓廠設備管理改善之線索，並且我們定義了一些鮮少用但重要的指標如MTBFU 等，以及一些重新定義的指標如Batch-based Mis-operation Rate、Move-based Scrap Rate等。