Abstract
利用熱燈絲化學氣相沉積爐以H3BO3與去離子水的稀釋溶液為硼雜質來源，蒸鍍得到的同步參質P型多晶鑽石膜，經拉曼光譜鑑定後，知道鑽石膜品質相當好。在本文中，我們以同步參質P型多晶鑽石 膜為研究對象，探討其電性的可靠度。實驗的結果為(1)同步參質P型多晶鑽石膜暴露在空氣中時，其電阻值會隨時間的增加而增加。(2)將同步參質P型多晶鑽石膜置於真空中，其電阻值會隨時間的增加而減少。(3)同步參質P型多晶鑽石膜在真空中經過溫度週期處理後，可得到穩定的電阻值。(4)在電阻—溫度倒數的圖中，兩個不同溫度的區間會出現兩個不同的活化能值，這是因為同步參質p型多晶鑽石膜中，硼和tantalum兩種acceptor在高、低溫區分別主導載子傳導的機制 。