Abstract
能量解析式的量測實驗，是一種利用同步輻射連續能譜光源之優點，而發展出 的一種特別實驗方法。本文旨在探討利用此種方法，在小角度散射及小角度全 反射上的運用及實驗設備的建立。在此方法中，固定光源入射的角度，樣品散 射(反射)光譜依波長(能量)為函數，與一般固定入射光源能量，量測散射(反射) 角度不同。和大家熟知的能量解析式粉末繞射道理相似，能量解析式實驗可研究 動態變化及相變化的系統。我們利用同步輻射高強度及連續能量的光源特性，對 於資料的獲得和分析更易在短時間內完成，故可研究材料在短時間內的性質變化。能量解析式實驗系統的簡易及固定，也利於臨場(in-situ)實驗的設計。實驗中我們使用交聯結合聚乙烯(PE)測試小角度散射的可行性，經過許多修正後結果 還令人滿意。而被我們考慮的修正項有(1)無X光時的背景(2)偵檢器反應函數的 修正(3)空樣品腔、針孔邊緣等造成的螢光散射(4)偵檢器對不同能量的X光偵檢 效率(5)光束線對X光的衰減(6)樣品自己對X光的衰減(7)同步輻射光譜。能量解 析式反射率量測實驗使用不同厚度氧化層矽晶片作測試樣品，經過類似的修正後 ，亦得到不錯的結果。證實此套世界第一個做的能量解析式實驗設備可行。