Abstract
本研究目標在於設計、製造線型微波電漿源。主要是利用同軸慢波結構以激發電漿表面波，此結構的優點為1. 微波傳輸的波長可縮短，所以在空間中所形成的駐波亦縮短，較易激發均勻的大尺寸電漿；2. 微波能量在慢波結構中是以表面波模式傳遞，能量傳輸損失較少可以達到較長的分佈距離，因此可獲較高的微波能量使用率及激發均勻的大尺寸電漿。本論文所提之同軸慢波結構由中心導體鐵氟龍層及石英管構成，並利用線性理論計算此結構中電磁波的傳播特性，藉由所得的色散關係及電場分佈，了解電漿表面波的特性及存在條件，並探討電漿在弱碰撞下對傳播特性的影響，及幾何結構對共振頻率的影響，以數值計算、軟體模擬完成了此共振腔的設計，並以網路分析儀、探針系統量測微波特性及分佈驗證理論計算結果。