Abstract
本篇論文為研究含六氟戊酮亞胺基鈷金屬化學氣相沈積前驅物之製備方法及其性質探討與其在化學氣相沉積的應用。利用六氟戊酮亞胺類化合物 (1)、(2)、(3)、(4)、(5)與氯化鈷反應，可成功的合成出一系列具有揮發性且空氣下穩定的化合物 (6)、(7)、(8)、(9)、(10)，其中衍生化合物 (8)，在測TG / DTA 時幾乎可達到100 ﹪的重量損失，又具有高的產率，是一個不錯的鈷金屬前驅物。選取化合物 (8)，利用簡易型熱壁式化學氣相沈積裝置在矽晶片上來製備鈷膜，可得到薄膜品質不錯的鈷膜。