Abstract
摘要 本篇論文為研究含六氟戊酮亞胺基銅金屬錯合物的合成及性質探討與其在化學氣相沉積的應用。我們以K-10為催化劑合成出一系列六氟戊酮亞胺類化合物(1),(2),(3),(4)與氯化銅反應，可得到一系列具有高揮發性且在空氣下穩定的錯合物(7),(8),(9),(10)，而這些錯合物的物理性質，如TG/DTA，EPR，磁性(squid)等，皆詳述於論文中。而我們取合成出的錯合物(7),(8)以熱壁式化學氣相沉積的方法在矽晶片上來製備銅薄膜，亦可得到純度不錯的銅薄膜。
- Title
- 含六氟戊酮亞胺銅錯合物的合成及在化學氣相沉積的應用研究
- Translated title
- 含六氟戊酮亞胺銅錯合物的合成及在化學氣相沉積的應用研究
- Creators
- 鍾博文
- Contributors
- 季昀 (Advisor)
- Awarding Institution
- 國立清華大學, 化學系; Masters
- Theses and Dissertations
- Masters, 國立清華大學, 化學系
- Language
- Traditional Chinese
- Resource Type
- Thesis