Abstract
本實驗是利用雙離子源輔助電子束蒸鍍法(Double Ion Sources Enhancing E-BeamDeposition) ，以SiO2及Ta2O5 為絕緣材料，來備製ZnS ( 含5%Mn )之電激發光元件。其結構如下:Glass/ITO/SiO2/Ta2O5/ZnS+Mn(5%)/SiO2/Ta2O5/ 電極其中電極部份以R.F Sputter 鍍鈦，另外以本實驗室自製之End-Hall型離子源，加強材料之游雕化並補充氣原子，以輔助蒸鍍。完成之元件其基板面積76x25mm2，則發光面積為20x8mm2;其基板面積f38x25mm2 ，則發光面積為10x8mm2 。利用變頻器，以交流電lk Hz 170V方波激發，其所發出之光為橙色光。