Abstract
在工業進步的今天，自動控制漸漸被廣泛的應用而取代人力，在許多控制或測量上，測試儀器必須和被測物體不能有機械上的接觸，常用的方法是在相當距離外加以遙控或測量，於是很多高靈敏度的光電元件成為自動控制中不可或缺的一環。光位署感應偵測器也是其中之一，它主要的用途有二個方法，一是以中心點為參考應用在追蹤系統，另一用途是直接測量微小振動位移。譬如車體之業儀器的微小振動記錄分析。在醫療上可測量人體的平衡感。如果在PIN 界面入射一均勻適當波長內的光，則會產生一電動勢減低PIN 界面的內在障礙，如果入射光是一個點，則除了在界面垂直方向減低內在障礙外，在界面上會產生橫向的震動勢，運用這橫向光效應現象，可以製造位置感應偵測器。在本論文中，一個應用面積13×13mm2 ，非線性在百分之十五，以及光靈敏度0.01A/W 的固態矽晶二之位置感應偵測器，運用離子佈植及傳統的擴散方法下製成，並討論它光靈敏度和離子佈植量關係，以求得最佳靈敏度的位置偵測器以及其他應用上的特性。