Abstract
由於微電子技術在過去數十年來的突飛猛進，使得微處理機的應用日漸廣泛。當微處理機被應用到各個角落，各種生活層面時，它需要各式和樣的感測器，以使把外在真實世界各種物理參數轉換成電子信號，以供微處理機運作。為了與微處理機匹配，這些感測器必須是體積小，可靠度高、成本低。能滿足以上條件的，只有一種方法，就是用積體電路製造程序來製造感測器。本論文敘述矽膜電容式壓力感測器之理論推演，電腦輔助設計及製造程序。一個矽薄膜彎曲方程式的理論解公式在文中提出，它能精確地描述感測器的行為。根據此理論公式，一套電腦輔助設計程式被發展出來。它能正確地預測感測器的效能，使得設計者可輕易找出所要各種感測器結構參數。電容式感測器雖然在許多方面比壓阻式優越，例如溫度敏感變低、壓力敏感度高、功率消耗小，但電容式感測器在基本上卻是非線性的。為了解決此問題，我們提出一種新技術：電極整形，它可能有效地把電容式壓力感測器輸出修正為線性化。並且此新技術乃可與積體電路製造程序相匹配，並不因此而增加成本，故其可行性頗高。