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圓上實驗之群集分析與模型配適
Thesis

圓上實驗之群集分析與模型配適

楊惇昱
Masters, 國立清華大學, 統計學研究所
2007

Abstract

反應曲面 實驗區間 建模區間 極軸 多項式模型 群集分析
一般我們在做實驗設計時,實驗區間通常為一正方體,但科技業的工程師經常在晶圓上做實驗設計,此時實驗區間就是一個圓。實驗區間為正方體的各種資料分析,可在大多數實驗設計的書找到,至於實驗區間是一個圓的資料分析,則很少在各種文獻中出現。本篇論文討論如何利用圓上的數據來依圓上的曲面相似程度做群集分析。這時會發生一個有趣的新問題,就是必須考慮曲面的旋轉。本論文提供了一套方法來解決曲面旋轉的問題,並將其套用在真實晶圓數據上,本論文還介紹了如何在圓上建立一個允許極座標之圓心位置改變之模型。

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