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在五氧化二鉭與二氧化矽混合膜平面波導上施以熱極化之研究
Thesis

在五氧化二鉭與二氧化矽混合膜平面波導上施以熱極化之研究

廖家成
Masters, 國立清華大學, 光電工程研究所
2004

Abstract

五氧化二鉭 二氧化矽 熔融石英玻璃 稜鏡耦合 熱極化 非線性 Ta2O5 SiO2 fused quartz prism coupler thermal poling nonlinear
本論文的研究方向主要是以熔融石英玻璃為基板,利用離子束濺鍍法製鍍Ta2O5-SiO2混合膜於基板表面,形成一層平面波導,然後利用光譜儀及macleod模擬軟體做波導分析,再以prism coupler量測波導中各個模態的有效折射係數,計算出波導的折射係數與厚度後,與macleod模擬軟體做相互驗證。 利用本實驗室的熱極化(thermal poling)技術,針對不同的混合膜以及混合膜上覆蓋SiO2施以6kv、275oC、30min的熱極化,再透過Maker’s Fringe系統量測二階非線性強度。並持續觀察二階非線性強度隨時間的衰減現象,發現製鍍薄膜能有效抑制衰減。 最後利用UV脈衝光抹除非線性強度,發現當Ta2O5的比例較高時,UV脈衝光不能抹除二階非線性強度。

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