Abstract
利用積體電路技術，自行設計並完成氫氣感測器及氫離子感測器。這兩種感測器作用基本原理是絕緣閘場效電晶體，（Ｐｄ）鈀金屬閘金氧半場效電晶體被製造完成，並測試氫氣含量；鈀金屬表面吸咐氫氣再穿透鈀內部，在鈀和二氧化矽的交接觸產牛正負電荷的電偶極矩，以電偶極矩將改變矽和鈀金屬作函數，換句話約改變起始電壓約一伏特以下。金氧半場效電晶體，利用化學蝕刻技術，將閘極金屬部份去掉，置於測試液中靠涳液中的離子吸咐在二氧化矽當作閘極，使感測器正常工作，此為離子感測器，因為元件測試時置於溶液中，將有漏電流產生，須在元件塗上一層絕緣膜，實驗結果絕緣並不理想，所以包裝絕緣是整個元件製造過程最難之處。