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外加電場對化學氣相沈積法製備一維碳材之製程參數探討及性質研究
Thesis

外加電場對化學氣相沈積法製備一維碳材之製程參數探討及性質研究

邱奕璋
Masters, National Tsing Hua University
2001

Abstract

奈米碳管電場甲烷化學氣相沈積法苯蒸汽
本實驗用苯蒸汽做碳源,以Fe0.8-Co0.2做催化劑,利用化學氣相沈積法於950?1050℃下裂解,可得到實心纖維產物,若基材為經放電預處理過的石墨板則可得到奈米碳管。以濺鍍法鍍10nm的Fe0.8- Co0.2做催化劑,並以甲烷做碳源,改變不同的氣體流量,就能得到密度、尺寸不同的產物。另外,外加電場可控制一維碳材料垂直於基板成長,電場強度在50~60V/mm之間可以明顯改變產物成長方向,並發現過程中試片接電源供應器的正極或負極會影響方向性成長纖維所需的電場強度。將基板置於不同電場強度的位置,發現碳原子因而受到影響使得產物沈積方式不同。在場發射應用上,以苯蒸汽做碳源所得碳纖維的場發射電流密度範圍為1.6~18 mA/cm2,起始電場為0.6~ 1.8V/μm。當我們改以甲烷做碳源做高溫裂解,得到的奈米碳管場發電流密度達0.3~0.5 mA/cm2,起始電場在2.4~4.2V/μm之間。結構的穩定性會造成這種差異。外加電場成長方向性的產物,其場發射電流密度提高到3 mA/cm2,起始電場為3.4V/μm。

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