Abstract
實驗室內原本的離子化物理氣相沉積系統(Ionized-PVD)是使用電感式耦合電漿源(Inductively Coupled Plasma 簡稱 ICP)，而在系統設計上電感線圈是放置於真空腔體內。現在將電感線圈改繞於真空腔體外，形成一個外置式電感式耦合電漿源的離子化物理氣相沉積系統，改變系統裝置後另外加入法拉第盾(Faraday shield)，再研究新系統的電漿特性。包括：電漿電位、電漿密度、電子溫度和電子能量分佈函數。另外在和一個簡單的電漿模型做比較，使我們能更加了解電漿特性。