Abstract
本論文的目的在於以電子順磁共振儀來研究多孔矽,了解多孔矽之順磁中心之結構,並且了解溫度對多孔矽缺陷之影響,以及在不同溫度下的多孔矽鍵結變化,以幫助我們對多孔矽營光機制的了解,使我們對多孔有更進一步的了解。 開始我們以理論模擬的方式建立多孔矽缺陷之順磁中心模型,以理論計算的方式來模擬實驗情況。接著製作多孔矽樣品,以電子順磁共振光譜儀來觀察多孔矽缺陷的鍵結結構。再以最小平方法來對光譜譜線作曲線擬合,和之前所建來的模型比較,印證多孔矽之順磁缺陷的結構。 接著在不同溫度下,不同環境下,對多孔矽作缺陷濃度的量測,及FTIR光譜的量測,觀察其鍵含變化。 最後以對多孔矽缺陷結構的了解來推論多孔矽之結構。並了解氫氣在多孔矽中扮演著重要的角色。