多層抗反射膜於兆赫波頻段之製作

Thesis

多層抗反射膜於兆赫波頻段之製作

徐裕程

Masters, 國立清華大學, 物理學系

2016

Abstract

抗反射鍍膜

多層抗反射鍍膜

調製等效折射率

填充率與週期寬度

broadbandmultilayerantireflection

THz

subwavelengthsilicon

holesizeandperiod

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Details

Title: 多層抗反射膜於兆赫波頻段之製作
Translated title: 多層抗反射膜於兆赫波頻段之製作
Creators: 徐裕程
Contributors: 張存續 (Advisor)
Awarding Institution: 國立清華大學, 物理學系; Masters
Theses and Dissertations: Masters, 國立清華大學, 物理學系
Language: Traditional Chinese
Resource Type: Thesis
Date published: 2017