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多層磁性金屬膜之磁力顯微儀成像與磁阻分佈
Thesis

多層磁性金屬膜之磁力顯微儀成像與磁阻分佈

蘇美恩
Masters, National Tsing Hua University
2004

Abstract

磁力顯微儀多層磁性金屬膜磁阻 magnetic force microscopymulti-layer magnet thin filmsmagnetoresistivity
目前微磁學為一門重要的研究領域,磁力顯微儀(MFM)具有高解析度(約10nm~100nm) 可觀測磁性材料上細微的磁區分布且操作容易,樣品不需經過特殊處理,且可以適用於各種環境。因此已成為此領域的重要儀器。 本論文是利用磁力顯微儀觀測鈷-鎳-鈷之多層磁性金屬薄膜。樣品成長方式是利用磁控濺鍍系統於矽基板上成長鈷-鎳-鈷之多層膜金屬薄膜;並改變鈷的厚度而得不同樣品。樣品完成後,利用磁力顯微儀觀測樣品之表面影像與磁力影像;再對樣品加強磁場,同樣地,利用磁力顯微儀觀測其表面影像及磁力影像。另外,利用四點量測系統測量樣品之磁阻,對樣品通過垂直或平行磁壁方向之電流,觀察磁阻大小並比較其方向對磁阻之影響。

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